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          陜西省微型機械電子系統研究中心
          > 進入陜西省微型機械電子系統研究中心

          負 責 人:蔣莊德

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          傳 真:

          網 址:

          電子郵件:

          聯系地址:西安交通大學機械工程學院

          郵政編碼:710049

          陜西省微型機械電子系統(MEMS)研究中心成立于2001年3月,掛牌于西安交通大學精密工程研究所,蔣莊德教授任中心主任,趙玉龍任副主任。

          目前,陜西省有西安交通大學、航空618所、航天16所、驪山微電子研究所(771所)、寶雞傳感器研究所、西北工業大學等多家單位在不同的應用領域開展了MEMS的研究。為了推動陜西省的MEMS研究,陜西省MEMS研究中心作為組織協調機構,主要目的是發揮各單位的技術優勢,取長補短,防止低水平重復研究;建立以大專院校及科研院所為龍頭,以IC企業為骨干,研學產緊密結合的若干個國家級MEMS發展基地;使陜西省MEMS研究基礎或西部地區的MEMS研究提高到較高的水平,為進一步爭取國家級的MEMS研發中心打下堅實的基礎,創造良好的條件。

          目前,該中心擁有MEMS潔凈室、各種MEMS加工設備(包括LPCVD、ICP、PECV、MCP等設備)、MEMS軟件平臺CoventorWare。現主要從事MEMS設計與工藝、各種MEMS器件、MEMS傳感器和相關系統的設計和制作。已申請專利13項,其中發明專利6項,兩項發明、八項實用新型已授權。完成科技論文五十余篇。 

          陜西省MEMS中心自成立以來,承擔了以下項目中的課題任務:
          “耐高溫微型壓力傳感器實用化開發”,863重大專項(2002AA404470);
          “耐高溫壓力傳感器技術研究”,863預啟動項目(課題編號:101-01);
          “棉條檢測FP傳感器”,中國航空工業總公司第613研究所;
          “集成微光機電系統研究課題-微機械材料力學特性相關問題研究”,973項目;
          “針對高深寬比硅微結構等離子體低溫刻蝕技術研究”,國家自然科學基金項目(50205020);
          “具有高寬比微傳動機械零件的研制”,機械傳動國家重點實驗室基金項目;
          “光盤表面微觀形貌在線檢測技術的研究”,教育部博士點基金;
          “應用原子力顯微鏡進行納米結構樣板的制造研究”,教育部高等學校骨干教師資助計劃;
          “微觀表面形貌測量技術”,教育部重點科技項目;
          “基于計算機視覺反饋的微操作研究”,西安交通大學博士論文基金;
          “MEMS技術與應用”,陜西省科技攻關重點項目;
          “微型火工引爆系統MEMS安全與解除保險裝置研制”,中國兵器工業第213研究所;
          “組織微陣列制備儀的開發制作”,陜西西大北美基因股份有限公司。

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